%0 Generic %A Dubois, Jérôme. %C [S.l.] : %D 2016. %I University Grenoble Alpes, %T Nouvelle technologie utilisant les plasmas H2 et He pour contrôler la gravure de couches ultraminces à l’échelle nanométrique %U http://SK8ES4MC2L.search.serialssolutions.com/?sid=sersol&SS_jc=TC_028526091&title=Nouvelle%20technologie%20utilisant%20les%20plasmas%20H2%20et%20He%20pour%20contr%C3%B4ler%20la%20gravure%20de%20couches%20ultraminces%20%C3%A0%20l%E2%80%99%C3%A9chelle%20nanom%C3%A9trique